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西安电子科技大学2024年1月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 西安电子科技大学 射频器件薄膜溅射台 A02330300 电子工业生产设备 详见项目详情 370.000000 2024年01月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

西安电子科技大学2024年1月政府采购意向-射频器件薄膜溅射台 详细情况

2023年12月29日 10:05 来源： 中国政府采购网 【打印】

射频器件薄膜溅射台
项目所在采购意向： 西安电子科技大学2024年1月政府采购意向
采购单位： 西安电子科技大学
采购项目名称： 射频器件薄膜溅射台
预算金额： 370.000000万元(人民币)
采购品目：
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 ：
设备配有Load-Lock系统，可完成自动/手动送样/取样过程；可满足6英寸及以下各种规格尺寸的样品的溅射；具有多个靶枪，并且满足强磁性材质溅射和介质类材质溅射的功能；具备低温冷泵系统；工艺腔室极限真空达到10-8Torr量级；6英寸片内均匀性不大于+5%；可通过windows系统独立实时控制系统实现设备操控；具备异常情况报警与保护设置，具备完善的逻辑程序互锁保护系统。
预计采购时间： 2024-01
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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