您的位置:招采网 > 意向公示 > 中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向

中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向

序号 采购单位 采购项目
名称
采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)
预计
采购日期
备注
1 中国科学院上海有机化学研究所 曝光系统 A02110205集成电路参数测量仪 详见项目详情 390.000000 2024年01月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向-曝光系统 详细情况

2023年12月11日 15:11 来源: 中国政府采购网打印

曝光系统
项目所在采购意向: 中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向
采购单位: 中国科学院上海有机化学研究所
采购项目名称: 曝光系统
预算金额: 390.000000万元(人民币)
采购品目:
A02110205集成电路参数测量仪
采购需求概况 :
光刻胶是集成电路中的关键材料,随着海外禁令越来越严苛,高端光刻胶的国产化势在必行。而研发高端光刻胶需要光刻加工系统,主要用于制备和加工光刻胶等相关电子化学品。曝光系统则是光刻加工系统中的核心之一,因此拟采购用于研发ArF光刻胶的曝光系统1台,
预计采购时间: 2024-01
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。