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中山大学2023年12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 中山大学 中山大学物理学院氧化物分子束外延生长系统采购项目 A02052402真空应用设备 详见项目详情 300.000000 2023年12月 详见项目详情
2 中山大学 中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目 A02052402真空应用设备 详见项目详情 165.000000 2023年12月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

中山大学2023年12月政府采购意向-中山大学物理学院氧化物分子束外延生长系统采购项目 详细情况

2023年11月28日 10:48 来源： 中国政府采购网 【打印】

中山大学物理学院氧化物分子束外延生长系统采购项目
项目所在采购意向： 中山大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 中山大学
采购项目名称： 中山大学物理学院氧化物分子束外延生长系统采购项目
预算金额： 300.000000万元(人民币)
采购品目：
A02052402真空应用设备
采购需求概况 ：
采购氧化物分子束外延系统一套，该设备用于：制备氧化物外延薄膜；技术要求：一套分子束外延（MBE）生长工艺腔的本底真空好于5×10-10 mbar；超高真空4轴样品操纵台可装在2inch样品托（兼容flag-type），样品托加热温度在室温到1100 K，包括快速进样室腔，5套蒸发源，臭氧发生器一套；带RHEED监控；交付时间要求：签合同后半年内交付；交付地点要求：交付至指定地点；售后服务要求（含培训） ：2年保修。
预计采购时间： 2023-12
备注：
欢迎供应商提前参与该项目的购前调查，以便采购人更好地了解贵公司和相关产品与服务的优势。请复制以下链接，用浏览器粘贴打开调查页面。https://survey.choicelink.cn/sysu/PurchaseIntention?id=7aba6671580f46b0b900f51dc714d847&tenant=2198&token=1

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

中山大学2023年12月政府采购意向-中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目 详细情况

2023年11月28日 10:48 来源： 中国政府采购网 【打印】

中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目
项目所在采购意向： 中山大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 中山大学
采购项目名称： 中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目
预算金额： 165.000000万元(人民币)
采购品目：
A02052402真空应用设备
采购需求概况 ：
购买氢化物气相外延炉(HVPE)一套。该设备用于生长氧化物薄膜；技术要求：氢化物气相外延炉(HVPE)要求能生长2英寸、4英寸外延片，组件包括工艺管、内衬管、镓舟、气体喷头与衬底托。加热器工作温度：100℃~1100℃，温区加热段数不小于六温区，控温精度优于0.5℃。设备真空系统配备进口耐腐蚀干泵，气路不少于9路，其中特气种类不小于5路，以实现多反应气体混合，结合镓舟实现对不同区域气体浓度与流量实现调控。能够成功外延生长氧化镓，生长的氧化镓同质外延膜厚度可达到大于20微米。交付时间要求：签订合同后半年，交付地点要求：指定实验室；售后服务要求（含培训） ：保修两年，合同签订后4个月内交付并派人上门安装。到货后，提供免费安装调试服务直至验收合格。
预计采购时间： 2023-12
备注：
欢迎供应商提前参与该项目的购前调查，以便采购人更好地了解贵公司和相关产品与服务的优势。请复制以下链接，用浏览器粘贴打开调查页面。https://survey.choicelink.cn/sysu/PurchaseIntention?id=36124f2911234d3db8e4e760e566999e&tenant=2198&token=1

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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