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中国科学院紫金山天文台2023年11至12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 中国科学院紫金山天文台 双面对准光刻机 A02102000天文仪器 详见项目详情 275.000000 2023年12月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

中国科学院紫金山天文台2023年11至12月政府采购意向-双面对准光刻机 详细情况

2023年11月14日 14:42 来源： 中国政府采购网 【打印】

双面对准光刻机
项目所在采购意向： 中国科学院紫金山天文台2023年11至12月政府采购意向
采购单位： 中国科学院紫金山天文台
采购项目名称： 双面对准光刻机
预算金额： 275.000000万元(人民币)
采购品目：
A02102000天文仪器
采购需求概况 ：
双面对准光刻机， 采用紫外光照射掩模版投影到晶圆上的方式，将掩模版上的图像转移到晶圆上，在优化的条件下，其光刻分辨率可达0.8um。可以通过上下显微镜观察，实现正面和背面套刻。正面对准精度为+/-0.5um， 背面对准的精度为+/-1.0um 。该设备将用于超导薄膜微器件的制备。
预计采购时间： 2023-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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