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上海交通大学2023年12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 上海交通大学 高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统 A02330300电子工业生产设备 详见项目详情 310.000000 2023年12月 详见项目详情
2 上海交通大学 浩然高科技大厦定制柜采购 A05019900其他家具 详见项目详情 141.000000 2023年12月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海交通大学2023年12月政府采购意向-高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统 详细情况

2023年11月07日 16:20 来源： 中国政府采购网 【打印】

高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统
项目所在采购意向： 上海交通大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 上海交通大学
采购项目名称： 高强高导碳/铜复合导线一体化连续制造系统
预算金额： 310.000000万元(人民币)
采购品目：
A02330300电子工业生产设备
采购需求概况 ：
主要技术指标 （1）样品在各工艺环节间可实现非接触式连续传送 （2）可在不破空条件下的完成靶材更换 （3）各腔室同时工作时无交替污染 集成系统与镀膜腔体具体参数指标： 1.★满足镀膜样品尺寸最大可覆盖：4-8英寸晶圆 2.★腔体极限真空度：≤1×10-7 Pa；腔体 200℃烘烤 72小时，冷却24小时后基础真空低于 5×10-7 Pa 3.★厚度均匀性：≤3% 4.★样品台温度及稳定性 ：750℃，在 600℃时，温度均匀性优于±6℃，温度稳时变化小于±0.2℃ 5.★靶材功率密度：≥3W/cm2 6.★传样工具与方式：手动传样 7.★转动自由度：360 度连续旋转 8.★PID 控制烘烤：最高烘烤温度：200℃ 9.★视窗：4个镀膜腔室包含可视窗、过压保护装置 10.★水冷系统：阴极靶材，镀膜腔体，磁场线圈等均包含高精度水冷 11.★进气系统：数字式质量流量计；工艺气体：Ar；流量为 ≤50 SCCM 12.磁场：均匀磁场设计，轴线磁感应强度不低于0.02T 13.控制系统：自动数据记录，进气、靶基距、起辉、灭辉控制，水温报警，互锁系统等 14.真空腔体内表面经过等离子处理工艺
预计采购时间： 2023-12
备注：
该设备为教育部贷款贴息项目“功能金属基复合材料创新平台”（项目号：WH710405002）所购序号为5的设备

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海交通大学2023年12月政府采购意向-浩然高科技大厦定制柜采购 详细情况

2023年11月07日 16:20 来源： 中国政府采购网 【打印】

浩然高科技大厦定制柜采购
项目所在采购意向： 上海交通大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 上海交通大学
采购项目名称： 浩然高科技大厦定制柜采购
预算金额： 141.000000万元(人民币)
采购品目：
A05019900其他家具
采购需求概况 ：
采购办公区定制柜及茶水柜共计约40个柜体，具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，75个自然日货到采购人指定地点并安装验收完毕。
预计采购时间： 2023-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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