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复旦大学2023年12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 复旦大学 半导体匀胶显影设备采购 A02330300 电子工业生产设备 详见项目详情 120.000000 2023年12月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

复旦大学2023年12月政府采购意向-半导体匀胶显影设备采购 详细情况

2023年11月06日 13:39 来源： 中国政府采购网 【打印】

半导体匀胶显影设备采购
项目所在采购意向： 复旦大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 复旦大学
采购项目名称： 半导体匀胶显影设备采购
预算金额： 120.000000万元(人民币)
采购品目：
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 ：
本项目拟采购一批半导体加工设备，主要包含匀胶机和显影机，用于半导体光刻流程。匀胶机主要参数包括：转速范围0~10000rpm，可吸附样品尺寸6英寸且向下兼容等。烘烤台主要参数包括：热板单元加热面积为 150x150 毫米，热板加热范围为 25-250 度等。
预计采购时间： 2023-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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