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复旦大学2023年12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 复旦大学 互连刻蚀机2 A02330300 电子工业生产设备 详见项目详情 160.000000 2023年12月 详见项目详情
2 复旦大学 电镀设备 A02330300 电子工业生产设备 详见项目详情 100.000000 2023年12月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

复旦大学2023年12月政府采购意向-互连刻蚀机2 详细情况

2023年11月03日 14:15 来源： 中国政府采购网 【打印】

互连刻蚀机2
项目所在采购意向： 复旦大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 复旦大学
采购项目名称： 互连刻蚀机2
预算金额： 160.000000万元(人民币)
采购品目：
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 ：
本项目拟采购一批互连刻蚀机，该设备通过高能离子束或者等离子体，利用物理轰击和/或化学反应对金属、半导体、介质材料表面进行高精度的加工，从而形成所需的微观图案或者结构。刻蚀的垂直度达到80度以上，被刻蚀的材料包括但不限于二氧化硅、氮化硅、金属、有机物等等。
预计采购时间： 2023-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

复旦大学2023年12月政府采购意向-电镀设备 详细情况

2023年11月03日 14:15 来源： 中国政府采购网 【打印】

电镀设备
项目所在采购意向： 复旦大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 复旦大学
采购项目名称： 电镀设备
预算金额： 100.000000万元(人民币)
采购品目：
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 ：
拟采购电镀设备，主要应用于半导体先进封装中的凸点、RDL制程。该设备主要由浸润槽、沉积槽、衬底、安全保护系统等组成。主要参数包括但不限于：满足2-4英寸样品电镀、安全保护系统包括漏电保护、漏液检测、防漏装置等。
预计采购时间： 2023-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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