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中国科学院上海硅酸盐研究所2023年11至12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 中国科学院上海硅酸盐研究所 磁控溅射镀膜机 A02052402真空应用设备 详见项目详情 180.000000 2023年12月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

中国科学院上海硅酸盐研究所2023年11至12月政府采购意向-磁控溅射镀膜机 详细情况

2023年11月03日 10:40 来源： 中国政府采购网 【打印】

磁控溅射镀膜机
项目所在采购意向： 中国科学院上海硅酸盐研究所2023年11至12月政府采购意向
采购单位： 中国科学院上海硅酸盐研究所
采购项目名称： 磁控溅射镀膜机
预算金额： 180.000000万元(人民币)
采购品目：
A02052402真空应用设备
采购需求概况 ：
1） 指标：a) 配置预进样室和溅射真空室，可自动取放工件盘；b) 真空室极限真空度优于6.7×10-5Pa;c) 一炉可镀制规格40mm×40mm的样片不少于45片；d) 配置不少于3个溅射靶枪，尺寸不低于Φ6英寸；e) 配置射频溅射电源、直流溅射电源；f) 基片加热温度不低于200℃；g) 溅射均匀性优于±5%；h) 具有离子束清洗功能；i) 采用PC+PLC自动控制模式。 2） 服务：卖方负责对设备进行指导安装和调试，并负责对买方进行免费操作培训；质保期为1年，以该产品的说明书规定的技术参数或技术协议为质量标准；质保期过后，若设备发生故障，卖方工程师在收到用户的维修服务要求后8小时内作出回应，如有需要48小时内到达用户现场进行维修。 3） 安全：设备配置完整的自锁保护功能，有急停开关，在突然停电时，所有阀门自动关闭。 4） 时限：收到首付款后45天内运到用户现场，5天内完成设备安装、调试及验收，并交付生产使用。
预计采购时间： 2023-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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