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复旦大学2023年12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 复旦大学 带气氛热退火系统1 A02330300 电子工业生产设备 详见项目详情 130.000000 2023年12月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

复旦大学2023年12月政府采购意向-带气氛热退火系统1 详细情况

2023年11月02日 15:08 来源： 中国政府采购网 【打印】

带气氛热退火系统1
项目所在采购意向： 复旦大学2023年12月政府采购意向
采购单位： 复旦大学
采购项目名称： 带气氛热退火系统1
预算金额： 130.000000万元(人民币)
采购品目：
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 ：
带气氛热退火系统是在保护气氛下的快速退火系统，通过高温钨加热，在不锈钢水冷腔室加热单片 Wafer或样品，工艺时间短，控温精度高，相对于传统扩散炉退火系统和其他RTP系统其温度更高。主要应用于氧化物、氮化物生长、硅化物合金退火、砷化镓工艺以及其他快速热处理工艺。该设备能够实时监控、记录设备运行时的所有工艺参数，人机界面观察清晰、准确， 易操作、维修方便。
预计采购时间： 2023-12
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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