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华南理工大学离子束刻蚀系统采购项目中标结果公告

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一、项目编号：SCUT-HW-ZB20240023号（招标文件编号：SCUT-HW-ZB20240023号）

二、项目名称：华南理工大学离子束刻蚀系统采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：深圳市矢量科学仪器有限公司

供应商地址：深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

中标（成交）金额：578.5000000（万元）

四、主要标的信息

序号供应商名称货物名称货物品牌货物型号货物数量货物单价(元)
1深圳市矢量科学仪器有限公司离子束刻蚀系统鲁汶Haasrode® Lorem®A1套5785000

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

黄卫华、邹恩、王晓晗、黄明科、蒋盛（采购人代表）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：按招标文件规定

本项目代理费总金额：5.222400 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

（一）采购项目内容

序号

标的名称

数量

（单位）

简要技术需求或服务要求

（具体详见采购需求）

最高限价/

单价最高限价

万元（人民币）

1

离子束刻蚀系统

1套

该设备通过物理刻蚀方式，按掩膜图形、实现金属、半导体和介质材料的刻蚀。设备具备射频离子源，Loadlock进样室和终点检测等能力。提供相应的培训和不少于三年的质保服务。

580万元

（二）中标供应商评审总得分：92.60
（三）各有关当事人对中标、成交结果有异议的，可以在中标、成交公告发布之日起7个工作日内以书面形式向（政府采购代理机构）（或采购人）提出质疑，逾期将依法不予受理。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：华南理工大学　　　　　

地址：广州市天河区五山路381号　　　　　　　　

联系方式：文老师 020-87112023　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：广州中经招标有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：广州市越秀区寺右一马路18号泰恒大厦14楼1409室　　　　　　　　　　　　

联系方式：陈小姐 020-87385151　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：刘小姐

电　话：　　020-87385151

　

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