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电子束光刻系统项目单一来源公示

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一、项目名称（预算金额：575万元）

电子束光刻系统。

二、采购内容

拟采购1套电子束光刻系统，用于高分辨率微纳结构图形化。

三、拟单一来源供应商：厦门淳涵科技有限公司。

四、单一来源理由

通过单一来源方式采购；国外电子束光刻系统比较成熟，但由于近几年的高端科学设备出口管制的问题，不能向本单位提供符合应用需求的电子束光刻系统产品，所以国外制造的电子束光刻系统不予考虑。经充分的技术论证和市场调研，国内生产制造商只有北京金竟科技有限公司，型号：Pharos310电子束光刻曝光系统能够满足我们对于分辨率、稳定性以及兼容性的严格要求，也是目前在国内销售的唯一的技术成熟的电子束曝光系统，能够提供长期系统的售后服务和技术支持。而厦门淳涵科技有限公司作为北京金竟科技有限公司在湖南省（全境）、福建省（全境）区域总经销商，故拟定从厦门淳涵科技有限公司采购北京金竟科技有限责任公司的电子束光刻系统（型号：Pharos 310）。

五、公示时间和有关说明

项目公示期为2025年1月15日起至2025年1月22日。

如对公示内容有异议的，请在公示期内，采取专人送达、传真等方式书面递交我部，我部会反馈给予用户单位。提出的意见建议应当详细具体、理由充分、实事求是，不得有意排斥其它潜在供应商。反馈材料应当写明供应商名称并加盖单位印章，必要时可提供有关证明材料。

六、联系方式

联系人：贺助理

电话：0731-87000966

地址：湖南省长沙市

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