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微波等离子体化学气相沉积系统采购意向公告

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为便于供应商了解采购信息，根据《物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规定，现将微波等离子体化学气相沉积系统的采购意向公开如下：

序号 采购项目名称 需求概况 初步技术参数 预算金额(万元) 预计采购时间 备注
1 微波等离子体化学气相沉积系统
采购内容：微波等离子体化学气相沉积系统。
采购数量：1套
主要功能或目标：微波等离子体化学气相沉积设备主要用于制备金刚石材料。
需满足的要求：合同签订生效后3个月内交货并安装调试完毕；如需要办理进口免税，收到外贸信用证后3个月内交货并安装调试完毕。
 （1）微波源输入功率：覆盖0.6~6kW连续可调，程序可控；（2）微波频率：2450±50MHz；（3）有效沉积区域：≥Φ50mm；（4）压强控制范围：覆盖0.5~30kPa，程序可控；（5）温度控制范围：覆盖700~1400℃；（6）真空系统: 极限真空度优于1Pa；（7）自动控制能力：可按照设定的压强梯度、功率梯度、真空控制、气体控制等自动完成工艺流程；（8）气路系统：气路不少于四路，流速可控；（9）安全措施：具备系统监测和报警功能和自动切断加热功能。 135.00 2025年03月 无

注：1.本次意向公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；

2.供应商可以通过采购平台反馈参与意向和意见建议。


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