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中国科学院上海微系统与信息技术研究所加工定制超高真空电子束蒸发模块服务采购项目成交公告

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一、项目编号：OITC-G250301659（招标文件编号：OITC-G250301659）

二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所加工定制超高真空电子束蒸发模块服务采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：上海润理真空技术有限公司

供应商地址：上海市宝山区威航路218弄L5号楼1层

中标（成交）金额：155.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号供应商名称服务名称服务范围服务要求服务时间服务标准
1上海润理真空技术有限公司加工定制超高真空电子束蒸发模块服务针对多种异质晶圆研制、验证以及后续多种类型/结构器件研发需求，建议定制超高真空、长腔（沉积距离）、低温电子束金属沉积装置，用于制备超薄、超平、超细颗粒度的金属薄层以开发辅助键合工艺，实现多种6英寸预埋（图案化）金属薄层的单晶功能薄膜异质晶圆制备。其中，预埋（图案化）金属层还作为功能器件（射频、光、功率等）结构的一部分。超高真空电子束蒸发模块的腔体模块主要密封采用金属密封，只有部分常用法兰口为胶圈密封，这样设计的系统配合真空外烘烤可实现优于5x10-9 Torr的背景真空，在这样的真空环境下，可实现纯度更高，准直性更好，平整度更好的薄膜沉积，这些优异的特性对超低线宽的微纳图形工艺都有帮助。液氮冷却的样品台可实现样品的温度在镀膜过程中维持在0°以下，样品的低温状态有助于阻碍薄膜在生长过程中的晶粒长大，可获得颗粒度更小的薄膜，可轻松实现< 1 nm的表面粗糙度，较低的表面粗糙度对于超低特征尺寸的Lift-off工艺至关重要。液氮冷却的样品台在未通入液氮的时候还可以做旋转，可一定程度提高6英寸样品的镀膜均匀度，优于+/-3%。12个月1）蒸镀腔的极限真空度可达5×10-9 Torr；
2）蒸镀镀膜均匀性在6英寸范围内优于±3 %；
3）样品台水冷液氮兼容设计，冷却同时可旋转，最大可放置6英寸晶圆；
4）配备1套电子束蒸发源，270°电子束偏转；坩埚数量不小于6，软件操作自动旋转坩埚；电子枪需配备独立自动挡板。

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

王晓燕 姚黎明 张师斌（用户代表）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：1980号文

本项目代理费总金额：0.000000 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

本项采用综合评分法，成交供应商的评审总得分为92.00分。

附件：磋商文件

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所　　　　　

地址：上海市长宁路865号　　　　　　　　

联系方式：胡森 , 021-69075516　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　

联系方式：杨帆 陈小舫 赵倩,021-64717141/010-68290551/010-68290560　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：杨帆 陈小舫 赵倩

电　话：　　021-64717141/010-68290551/010-68290560

　

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