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国家纳米科学中心2024年1至12月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 国家纳米科学中心 全自动真空镀膜设备 A02100699其他试验仪器及装置 详见项目详情 1280.000000 2024年02月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

国家纳米科学中心2024年1至12月政府采购意向-全自动真空镀膜设备 详细情况

2024年01月02日 08:24 来源： 中国政府采购网 【打印】

全自动真空镀膜设备
项目所在采购意向： 国家纳米科学中心2024年1至12月政府采购意向
采购单位： 国家纳米科学中心
采购项目名称： 全自动真空镀膜设备
预算金额： 1280.000000万元(人民币)
采购品目：
A02100699其他试验仪器及装置
采购需求概况 ：
国家纳米科学中心承担多项极限纳米加工方面相关的国家科研项目。高质量纳米薄膜制备是纳米加工的核心技术之一，而前沿研究对薄膜均一性/致密性调控及其与极限尺寸/质量的纳米结构关联制备工艺匹配方面提出了更高要求。因此拟购置全自动真空镀膜设备，用于制备高均一性/致密性的金属及介质薄膜。该设备操作系统需支持全自动控制，工件台结构兼容8英寸及以下晶圆和厘米级碎片装卸，具有低的背底极限真空，具有除气-预清洁原位去除有机残留物/自然氧化层功能。
预计采购时间： 2024-02
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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