中国科学院上海微系统与信息技术研究所定制超均匀膜厚表面修整模块加工服务采购项目中标公告

一、项目编号：OITC-G250301660（招标文件编号：OITC-G250301660）

二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所定制超均匀膜厚表面修整模块加工服务采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：泱新（上海）科技有限公司

供应商地址：中国(上海)自由贸易试验区富特北路399号1幢2层2C室

中标（成交）金额：799.8000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	服务名称	服务范围	服务要求	服务时间	服务标准
1	泱新（上海）科技有限公司	定制超均匀膜厚表面修整模块加工服务	定制加工超均匀膜厚表面修整模块设备的工作原理基于离子束的物理溅射效应。高能离子束被精确聚焦并扫描到待修整的薄膜材料表面。离子束与材料表面发生相互作用，导致材料表面的原子或分子被溅射出来，从而实现材料的去除和修整。	通过调整离子束的能量、束流密度和扫描速度等参数，定制超均匀膜厚表面修整模块设备可以实现对材料表面的纳米级精确修整。	模块验收完成后12个月	可以精准修整二氧化硅（SiO2）,修整后膜厚片内均匀性< 1nm（1σ），最大刻蚀速率≥3nm/min，修整后产品表面粗超度Ra<1nm（AFM测试）

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

任宇红陈荣荣马荣荣蒋建强周民（用户代表）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：1980号文

本项目代理费总金额：0.000000 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

本项目采用综合评分法，中标供应商的评审总得分为89.40分。

附件：招标文件

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所　　　　　

地址：上海市长宁路865号　　　　　　　　

联系方式：胡森 , 021-69075516　　　　　　

2.采购代理机构信息

名称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　

联系方式：杨帆陈小舫赵倩,021-64717141/010-68290551/010-68290560　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：杨帆陈小舫赵倩

电　话：　　021-64717141/010-68290551/010-68290560

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