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西安电子科技大学2024年3月政府采购意向

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序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 西安电子科技大学 电子束光刻机 A02330300 电子工业生产设备 详见项目详情 1600.000000 2024年03月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

西安电子科技大学2024年3月政府采购意向-电子束光刻机 详细情况

2024年01月05日 17:25 来源： 中国政府采购网 【打印】

电子束光刻机
项目所在采购意向： 西安电子科技大学2024年3月政府采购意向
采购单位： 西安电子科技大学
采购项目名称： 电子束光刻机
预算金额： 1600.000000万元(人民币)
采购品目：
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 ：
标的：电子束光刻机 数量：1台 主要技术指标： 1. 采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50kV。 2. 束电流范围为~300 pA到40 nA。 3. 图形发生器扫描频率为50MHz，20bit分辨率。 4. 设备最大写场不小于1000μm。 5. 设备可实现自动聚焦、象散、写场畸变等校准功能；实现多样片自动套刻曝光。 6. 配备激光干涉工作台，XY方向运动行程不小于150 mm×150 mm。激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。 7. 通过精密控制样品台连续运动，实现无写场拼接曝光模式，适合于长线条和周期结构的曝光 8. 设备配备自动高度传感器，实现样品表面高度的自动探测和聚焦。 9. 设备配备二次电子探测器，可实现对准标记识别、电子束成像的功能。 10. 配备一个通用样品架，可承载散片或4英寸晶圆及以下的样片。配备3inch，4inch，6inch晶圆样品架，多样片样品架各一个。
预计采购时间： 2024-03
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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